清洗用超純水設備 主要采用的是將電滲析與離子交換有機結合的技術，可以有效的去除污染物以及深度除鹽，清洗用超純水設備是根據(jù)用戶的特殊需求設計生產的新型水處理設備，可以根據(jù)實際用量，調整設備的出水量，避免造成不必要的浪費。

清洗用超純水設備工藝大致分三種

1、采用離子交換方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點。
一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞性。

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透→PH調節(jié)→中間水箱→二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

二種采用兩級反滲透設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點在于相關膜原件需定期清洗或更換，水質相對來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在水質要求更高的時候常采用一級反滲透后面再用混床(陰陽復床)把關。

3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點。
三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水比較經濟和環(huán)保的超純水設備制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在初投資相對以上兩種方式過于昂貴。